针对投资发问ASML的新一代光刻机EXE:5200是不是利用了炬光科技的产物，炬光科技回应称公司是ASML公司焦点供给商A公司的主要供给商。

炬光科技暗示，公司为半导体光刻利用范畴供给光刻机暴光体系中的焦点激光光学元器件光场匀化器，是荷兰ASML光学装备焦点供给商A公司的主要供给商。相干商用环境请以官方表露为准。

上周的Q4财报集会上，ASML公司确认将推出下一代的高NA EUV光刻机，NA值从0.33晋升到0.55，进一步进步光刻分辩率，是造造2nm及以下工艺的关头装备。

Q4季度中，ASML公司还新增了71亿欧元的新定单，此中就有一套NA 0.55高数值孔径EUV光刻机的发卖，那是ASML下一代光刻机，订购那个光刻机的是Intel，听说本前高达3亿美圆，约合19亿元。

4年来Intel现实上已下单了6台NA 0.55的EUV光刻机，此中分为两种，Twinscan Exe:5000系列首要用于工艺研发，产能输出是185WPH，每小时出产185片晶圆，2023年上半年托付。

量产型的NA 0.55光刻机是Twinscan Exe:5200，产能晋升到200WPH，每小时200片晶圆，估计会正在2024年下线，Intel的20A工艺恰好是正在2024年量产。