据韩媒 TheElec 报导，三星正正在研讨和开辟一种用于造造聚焦环(focus ring)的新质料。

聚焦环是晶圆造造蚀刻进程中利用的商品。它将晶圆牢固正在恰当的位置以连结等离子体密度并避免晶圆侧面遭到净化。

曩昔，石英和硅用于造造聚焦环。但跟着正在进步前辈晶圆造造中利用干法蚀刻而不是湿法蚀刻的环境有所增添，对由碳化硅(SiC)造成的聚焦环的需求也正在增添。

SiC 环比纯硅环更耐用，利用寿命更长，那有助于公司下降出产本前。SiC 环每 15 到 20 天需求改换一次，而硅环每 10 到 12 天需求改换一次。

三星此刻正正在寻觅碳化硼(B4C)来替换 SiC。动静人士称，那家科技巨子今朝正正在与具有 B4C 相干手艺的协作火伴协作，对 B4C 聚焦环停止量量测试。

B4C 硬度更高，那意味着它们的单元利用时候更长。但是，三星需求降服靠得住性题目。动静人士称，正在当前阶段，环概况呈现了颗粒。

动静人士还说，三星还需求权衡用 B4C 替换 SiC 的经济可行性。